Wide temperature range
Ultra miniaturization
Ultra low jitter
High stability
Ultra-high frequency
Product Details
規格7.5X1.5
微小型全石英振梁加速度計振梁
1 外形尺寸
2 芯片的阻抗特性
3 電極絕緣電阻
采用絕緣電阻儀測量兩電極間的絕緣電阻，要求絕緣電阻（50V，＞1TΩ）
4 芯片材料
4.1 芯片的基材：Z切石英晶片；
4.2 石英晶片的晶向：（zyw）0°，切角公差：±5’；
4.3 Q值：300萬以上（A級）；
4.4 包裹體密度：Ia級 無籽晶；
4.5 隧道密度：小於10條/cm(1級)；
4.6 石英晶片為雙麵拋光，無亮點、麻點等缺陷；
4.7 電極薄膜的材料：Cr/Au雙層薄膜，純度：99.99%，其中底層Cr膜的厚度為（30±5）nm，頂層Au膜厚度為≥200nm。
規格如有更改，恕不另行通知。
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